(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回系统回,尘埃随向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以过滤器覆盖,空气由上往下吹,青岛净化车间,可得较高之洁净度,净化车间标准,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式:
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
空气的过滤对无尘车间很重要,它主要用于洁净度很高的生产车间的空气净化,要有过滤设备,同时要注意这两种气体灭菌时的操作规范。紫外线拥有很强的杀菌功能,使用方便,安装简单。化妆品的生产设备和仪器通常用热和化学制剂消毒,热的效果不错,但不适用大规模工业机器使用。因此很多企业使用化学法消毒,消毒前要用热水彻底清洗,保证没有微生物能够产生的温床,防止产品生产时受到污染。灌装机管道等设备要很仔细认真清洗。洗面奶化妆品无尘车间的操作人员进入车间前要先用专用洗手液消毒,然后穿上无尘服,10万级净化车间标准,戴工作帽以及无尘手套,换上无尘鞋。
洁净车间湿度的测试:湿度测试可采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同,应一同测试。
温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力,温度测试应在洁净车间进行调试,气流均匀性测试完成,并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。洁净车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。