(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，10万级净化车间标准，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，潍坊净化车间，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
净化无尘车间（区）的压差控制是确保其稳定正常运行和防止交叉污染的主要条件，净化车间设计，作出相关规定的依据和实施中应关注的事项说明如下供参考。
压差值的确定，为了保证100级净化无尘车间在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时，气流都能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，使净化无尘车间的洁净度不会受到污染空气的干扰，所以净化无尘车间必须保持一定的压差。在国内外净化无尘车间标准和洁净度等级中对净化无尘车间内压差值的大小都做了明确的规定。压差值的大小应选择适当。压差值选择过小，净化无尘车间的压差很容易破坏，净化无尘车间的洁净度就会受到影响。压差值选择过大，就会使净化空调系统的新风量增大，空调负荷增加，同时使中效、高效过滤器使用寿命缩短。另外，当室内压差值高于50 Pa时，门的开关就会受到影响。因此，净化无尘车间压差值的大小应根据我国现有净化无尘车间的建设经验，参照国内外有关标准和试验研究的结果合理地确定。
采用超细玻璃纤维纸作滤料，胶版纸、铝膜等材料作分割板，与铝合金胶合而成。净化工作台工作原理: 通过风机将空气吸入预过滤器，净化车间施工，将过滤后的空气以垂直或水平气流的状态送出，使操作区域达到百级洁净度，保证生产对环境洁净度的要求。
超净工作台是一种通用性较强的局部净化工作台，它广泛用于电子、LED、线路板、国防、精密仪器、仪表、食品、制药等行业。超净工作台外箱体材质为冷扎钢板多层静电喷涂，台面为砂光不锈钢板；台面两侧配透明夹胶玻璃挡板，使工作区域显得宽敞明亮。超净工作台制作常用板材有冷轧钢板（A3板）与不锈钢板（SUS201，SUS304，SUS316等）。厚度一般为0.8~1.5mm。超净工作台制作属于薄板焊接，对焊工焊接技术及打磨技术要求较高。
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