(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，德州净化车间，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
正压净化室是目前保证食品加工环境安全的重要方式之一，由于本身不具备杀菌功能，净化车间工程，且只能通过控制尘埃的方式降低微生物含量。只要开机运行，其“微污染源”将逐一显现，车间净化工程，如空调表冷器滋生有害物质、管道内壁繁衍有害物质、过滤器蔓延有害物质等。为避免食品企业重资金投入无尘洁净室保证食品生产安全，却未能完全杜绝“微污染”隐患，对于此：
1、员工之管理，在洁净室内污染来源80％来自作业人员，若能使作业人员依洁净室管理办法确实执行管理，而所有人员也均配合实施，则污染源的产生可说已减少大半。
2、进入洁净室员工，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持至好状态的观念。
3、员工进入洁净室数目以维持至小限度为原则(愈小愈好)，并须依洁净室进出标准流程进出洁净室。出则相反方向进行，唯不须经缓冲通道或风淋室脱尘处理。
4、对洁净室的空调系统及通风系统内安装动态杀菌装置。
无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、xi 菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，10万级净化车间标准，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的反面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求.
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