(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
无尘车间工程内部检测大纲是决定投资工程检测和认证等一切活动的基本文件。该大纲应以质量政策和实施认证为依据并是它的反映。
许多投资者宁愿为污染控制系统（无尘车间）编制单独的检测大纲，将其作为投资工程的总的认证大纲的组成部分。
应该配备随时可用的工具和材料来中和或控制任何可能发生的有害情况。可能需要特殊清洁的情况包括：
a)环境事故（如，动力故障、溢出、丰要设备故障、产品破损、生物危害等）：
b)无尘车间工程常规的清洁程序失效，净化车间设计，导致污染达到不可接受的水平：
c)对暴露出设施发生了不可接受的污染的情况进行监控。
可能有风险的区域内的T作廊该暂停，直到达到gJ‘接受的洁净度级别幻带提升法：
表面粒子检测法。
净化无尘车间采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板，使用越来越广泛了，那么怎样控制无尘车间的相对湿度呢？
在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，净化车间标准，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，10万级净化车间标准，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的反向影响；较低的相对湿度（约30%）使光刻胶附着更加容易，莱芜净化车间，甚至不需要聚合改性剂.在较低的湿度下，湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快，因此，比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。
净化无尘车间提醒:以后如果要更换净化无尘车间的高效过滤器时，须拆下喷球板，取出高效过滤器，按照原有高效过滤器的规格型号更换新的高效空气过滤器。安装时应确认高效过滤器上的箭头标记，箭头应指向气流的方向。并确保密封良好，防止渗漏。
推荐关于净化无尘车间的通风管道，可选用镀锌薄钢板制作，并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
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