洁净车间功能温度测试：应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度，距的吊顶、墙面和地面不小于300mm，并应考虑热源等的影响，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。洁净车间一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。
无尘车间工程内部检测大纲是决定投资工程检测和认证等一切活动的基本文件。该大纲应以质量政策和实施认证为依据并是它的反映。
许多投资者宁愿为污染控制系统（无尘车间）编制单独的检测大纲，将其作为投资工程的总的认证大纲的组成部分。
应该配备随时可用的工具和材料来中和或控制任何可能发生的有害情况。可能需要特殊清洁的情况包括：
a)环境事故（如，动力故障、溢出、丰要设备故障、产品破损、生物危害等）：
b)无尘车间工程常规的清洁程序失效，导致污染达到不可接受的水平：
c)对暴露出设施发生了不可接受的污染的情况进行监控。
可能有风险的区域内的T作廊该暂停，直到达到gJ‘接受的洁净度级别幻带提升法：
表面粒子检测法。
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，东营净化车间，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，净化车间，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
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