(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回系统回,滨州净化车间,尘埃随向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式:
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,10万级净化车间标准,ULSI制程大都采用此种型式。
(2)洁净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室:将洁净室等级10,净化车间施工,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
江苏翌诚净化工程有限公司专注洁净室整体设计与施工13年。我们拥有建筑安装二级资质,车间净化,承建洁净室确保100%通过第三方检测,成功案例超过200个。我们的目标是承建稳定运行15年的净化室,
洁净车间湿度的测试:湿度测试可采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同,应一同测试。
温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力,温度测试应在洁净车间进行调试,气流均匀性测试完成,并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。洁净车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。