各种物料在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”。
有的物件只需要一次净化，有的需要二次净化。一次净化不需要室内环境的净化，可设于非洁净区内；二次净化要求室内也具备一定的洁净度，故宜设于洁净区内或与洁净区相邻。
物料路线与人员路线应尽可能分开；
如果物料与人员只能在同一处进入洁净厂房，也必须分门而如，物料并先经粗净化处理；
对于生产流水性不强的场合，在物料路线中间可设中间库；
如果生产流水性很强，则采用直通式物料路线。
具体来说，平面上的“物净”包括以下几个部分，即脱包、传递和传输。
（1）所有空调通风系统的风机均与本建筑物内的消防报警系统联锁。
（2）风管在穿过防火墙、防火分区、伸缩缝、楼板时，均应安装防火阀，且防火阀与本空调系统内的所有通风空调设备联锁。当空调系统内的任意一个防火阀动作关闭时，该系统内所有通风空调设备都会停止运行，同时系统会将该防火阀关闭的信号发送至消防中心，临沂无尘车间，进行消防报警。
（3）消防排烟措施，万级无尘车间，应尽可能采用自然排烟的方式，对于不能满足自然排烟要求的区域，需设置机械排烟系统。当发生火灾时，启动相应区域的消防排烟系统，保证火灾现场的人员能安全撤离。一般可设计2套机械排烟系统，一套用于走廊和外包间的排烟，另一套用于洁净区走廊的排烟。由于洁净区走廊是地上密闭空间，因此要设计一套排烟补风系统，当洁净区走廊的排烟设备开启时，补风系统随之开启。
（4）排烟系统主要由以下几个部分组成：排烟口、排烟防火阀、280℃防火阀、消防排烟风机、排烟风管等。其中，排烟口为常闭型，当发生火灾时，可通过火灾自动报警装置联动开启排烟区域的排烟口，同时还应在现场设置手动开启装置，作为备用。当系统中任意一个排烟口开启时，应随之联锁开启相应的排烟防火阀和排烟风机。另外，在消防排烟系统启动15 s内，应自动关闭本区域与消防排烟系统无关的所有通风空调系统，无尘车间施工，并且在排烟温度高于280 ℃时，关闭排烟防火阀。
压差标准要求：
按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
（1）不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室（区）之间的静压差，应不小于5Pa。
（2）洁净室（区）与室外的静压差，不应小于 10Pa。
（3）对于空气洁净度等级严于 5 级（100 级）的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
（4）若达不到以上标准的要求，应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
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