山东康德莱净化工程有限公司

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  • 主营产品:医院ICU净化,电子厂无尘车间,药厂GMP车间净化,手术室净
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微环境的送风是由无尘车间送风系统提供,专业承接空气净化工程,其缺点是不灵活,移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式(光刻机除外),微环境全部由工艺设备自带,与工艺设备紧密结合在一起,并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods.FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead  hoist transport,OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气,经ULP过滤器处理后垂直下吹,以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。








洁净室历经演变,德州空气净化工程,以通风方式不同而分为两种主要类型。这就是紊流洁净室和单向流洁净室。紊流洁净室也称为“非单向流洁净室”,而单向流洁净室以前则称为“层流”洁净室。单向流型的洁净室其送风量比紊流型大得多,净化设备总厂空气净化工程部,从而可实现更高的洁净度。

  紊流洁净室的换气次数一般是大于等于20次/小时,这比象办公室这样的一般房间的换气次数大得多。在这种类型的洁净室中,由人员和设备产生的污染混合于送风之中,污染先被稀释,然后再予以清除。


《药品生产质量管理规范》对洁净空调系统的特殊要求

  1.1众所周知,《药品生产质量管理规范附录1:无菌药品》对洁净室动、静态定义

 动态:指生产设备按预定的工艺模式运行并有规定数量的操作人员在现场操作的状态。

  静态:指所有生产设备均已安装就绪,但没有生产活动且无操作人员在场的状态。

  第三十八条无菌药品生产的洁净区空气净化系统应当保持连续运行,维持相应的洁净度级别。因故停机再次开启空气净化系统,应当进行必要的测试以确认仍能达到规定的洁净度级别要求。

  1.2《药品生产质量管理规范》第四十八条

 洁净区与非洁净区之间、不同级别洁净区之间的压差应当不低于1O帕。必要时,相同洁净度级别的不同功能区域( 操作间) 之间也应当保持适当的压差梯度。

1.3 通过动静态的定义,


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