开放式无尘车间加微环境方式,工艺生产只要求微环境内有很严格的洁净度,而开放式无尘车间只需保证5-6级,这样严格要求的洁净度区域大大减少,净化设备总厂空气净化工程部,保证洁净度所需的循环空气量也相应减少,能耗大大降低,通常情况下开放式无尘车间加微环境方式其维持洁净度所需的能耗大约仅为港湾式无尘车间的1/3[]。实际工程中微环境是由设备自带的和开放式无尘车间完全脱开,再加上开放式无尘车间本身结构简单,动力设备减少,这样无论从设计到建造都变得简单快捷,可以缩短建造时间。
采用开放式无尘车间加微环境方式,确保硅片加工过程所需的洁净度的关键区域是微环境,微环境通常
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