山东康德莱净化工程有限公司

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这三种送风系统各有特点,从不同的角度比较会得出不同的结论,所以不能简单地说孰优孰劣,送风系统方式的采用主要取决于业主、设计人员的关注点侧重于哪些方面。不过FFU系统近几年来得到越来越广泛的使用,尤其是在亚太地区。国内也不例外,已建的和在建的8”、12”IC生产厂房几乎都采用FFU系统,很多5”、6”IC生产厂房近几年也采用FFU系统。








开放式无尘车间加微环境方式,工艺生产只要求微环境内有很严格的洁净度,而开放式无尘车间只需保证5-6级,这样严格要求的洁净度区域大大减少,净化设备总厂空气净化工程部,保证洁净度所需的循环空气量也相应减少,能耗大大降低,通常情况下开放式无尘车间加微环境方式其维持洁净度所需的能耗大约仅为港湾式无尘车间的1/3[]。实际工程中微环境是由设备自带的和开放式无尘车间完全脱开,再加上开放式无尘车间本身结构简单,动力设备减少,这样无论从设计到建造都变得简单快捷,可以缩短建造时间。

采用开放式无尘车间加微环境方式,确保硅片加工过程所需的洁净度的关键区域是微环境,微环境通常


山东康德莱净化厂房有限公司是华东地区较大的空气净化工程承建商之一,凭借多年的经验,以专业的技术和人员素养,致力从事净化工程设计、施工以及中央空调恒温恒湿工程、送回风系统、彩钢板隔间、净化设备生产、销售为一体的综合性专业净化公司。

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