山东康德莱净化工程有限公司

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微环境的送风是由无尘车间送风系统提供,其缺点是不灵活,移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式(光刻机除外),微环境全部由工艺设备自带,与工艺设备紧密结合在一起,并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods.FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead  hoist transport,OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气,经ULP过滤器处理后垂直下吹,以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。








无菌净化是根据GMP在药品生产中的经验,莱芜空气净化工程,为了确保食品的质量,对生产食品的环境中的空气尘埃粒子和有害物质进行过滤清除而达到净化的目的。对尘埃粒子进行控制采用的是ISO14644标准,净化设备总厂空气净化工程部,我国目前尚未在食品企业运用,但在一些国际食品巨头、药品等生产过程中已经成熟运用。其ISO14644是根据空气中悬浮粒子的浓度来划分空间的洁净度及相关空气洁净程度的分级,以每立方米含有多少个粒子(个/m3)来表示,专业承接空气净化工程,粒子粒径一般为0.1μm~5μm

《药品生产质量管理规范》对洁净空调系统的特殊要求

  1.1众所周知,《药品生产质量管理规范附录1:无菌药品》对洁净室动、静态定义

 动态:指生产设备按预定的工艺模式运行并有规定数量的操作人员在现场操作的状态。

  静态:指所有生产设备均已安装就绪,但没有生产活动且无操作人员在场的状态。

  第三十八条无菌药品生产的洁净区空气净化系统应当保持连续运行,维持相应的洁净度级别。因故停机再次开启空气净化系统,应当进行必要的测试以确认仍能达到规定的洁净度级别要求。

  1.2《药品生产质量管理规范》第四十八条

 洁净区与非洁净区之间、不同级别洁净区之间的压差应当不低于1O帕。必要时,相同洁净度级别的不同功能区域( 操作间) 之间也应当保持适当的压差梯度。

1.3 通过动静态的定义,


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