连锁控制:当送风机启动时按控制规律调节新风阀开度、预热蒸汽调节阀开度、再热蒸汽阀开度、加湿器蒸汽调节阀开度;当送风机停止时关闭所有控制阀门。
◆ 新风阀调节:检测新风温湿度和回风温湿度,分别计算出空气的焓值,冬季当新风焓值I 新< 回风焓值I回,由于处理新风所消耗的能量大于处理相同量的回风所消耗的能量,所以应采用至小新风量以便有效节约能源,故新风阀开度为允许的至小开度。
◆ 温度控制:由于室外温度较低(低于5℃),枣庄厂房净化,预热盘管处于工作状态,根据预热温度检测值和设定值按PID 控制规律调节预热加热器蒸汽调节阀开度,使预热温度稳定在设定值。新风经过预热后与回风混合。根据回风温度检测值和设定值按PID 控制规律调节二次加热器蒸汽调节阀开度,厂房净化车间,使回风温度稳定在设定值。
公司严格按照《洁净厂房设计规范》《洁净室施工及验收规范》《层流手术室建设标准》和《GMP规范》《防护器材内容》为各业提供各种医用工程。组织《GMP》认证于一体的综合性企业,具有承建符合国家标准和规范的医用工程能力,公司通过了国家相关质量管理体系认证,工程施工全过程均处于质量控制之中。在推行质量管理活动基础上完善了质量管理体系,使质量管理水平不断提高。本公司生产设备、检测仪器齐全,在行业中有较高的知名度。希望携手各界人士共创美好的未来。
随着工艺牛产技术的不断发展,IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格,说到环境首当其冲的是无尘车间,8”、12”IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求,有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战。
1无尘车间形式
1.1 无尘车间从平面布置划分一般有三种形式:即开放式( ballroom type)、港湾式(baycliasetype)、岛形布置(island type),如图1、2、3。