随着工艺牛产技术的不断发展,滨州厂房净化,IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格,说到环境首当其冲的是无尘车间,8”、12”IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求,厂房净化装修,有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战。
1无尘车间形式
1.1 无尘车间从平面布置划分一般有三种形式:即开放式( ballroom type)、港湾式(baycliasetype)、岛形布置(island type),如图1、2、3。
净化工艺系统广泛应用于电子制造车间、精密机械制造车间、食品加工车间、手术室、净化病房、实验室等,根据工艺需求智能控制系统对环境进行精密调节,gmp厂房净化,同时节省不必要浪费的能源,保证受控区域温湿度、净化度及其他设定值的稳定,从而达到由中央监控计算机实现系统所有设备的集中监视和远程控制,节约管理成本。
洁净度级别浮游菌cfu/m3沉降菌(?90mm)Cfu/4小时表面微生物接触(?55mm)Cfu/碟5指手套Cfu/手套A级<1<1<1<1B级10555C级1005025―D级20010050―2015版GMP规定洁净室洁净度各级别-悬浮粒子数洁净度级别悬浮粒子所允许数/立方米静态动态≥0.5μm≥5.0μm≥0.5μm≥5.0μmA级352020352020B级352029352000290