厂房净化|泰安厂房净化|山东康德莱净化
山东康德莱净化工程有限公司
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洁净室历经演变，厂房净化工程公司，以通风方式不同而分为两种主要类型。这就是紊流洁净室和单向流洁净室。紊流洁净室也称为“非单向流洁净室”，而单向流洁净室以前则称为“层流”洁净室。单向流型的洁净室其送风量比紊流型大得多，从而可实现更高的洁净度。
紊流洁净室的换气次数一般是大于等于20次/小时，这比象办公室这样的一般房间的换气次数大得多。在这种类型的洁净室中，由人员和设备产生的污染混合于送风之中，污染先被稀释，然后再予以清除。
。如果要提高局部区域的洁净度，除了无尘车间顶部要增加HEPA/ULPA过滤器外，还需增设循环机组，从而使改造难度大，厂房净化装修，而且对生产有较大影响；采用FFU系统，局部增加FFU台数或移动FFU位置均很容易实现，而且可以在不停产的情况下进行，对生产
新风处理及相对湿度保证
新风处理机组的功能段如图9所示，新风处理机组中设置初、中、高效三级过滤，厂房净化，以去除室外空气中的灰尘粒子，设高效过滤器很有必要，
几乎没有影响。
微环境的送风是由无尘车间送风系统提供，其缺点是不灵活，移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式（光刻机除外），微环境全部由工艺设备自带，与工艺设备紧密结合在一起，并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods．FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead hoist transport，泰安厂房净化，OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气，经ULP过滤器处理后垂直下吹，以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。
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