山东康德莱净化工程有限公司

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动静态分开控制方案优劣势分析(表2)

基于以上制药洁净室动静态的特点,可将两者不同需求分开控制,来实现至大化的节能运行,厂房净化装修,即动静态分开控制方案:新风及排风机组+循环风机组。

新风机排风机组MAU+EF:单独给洁净室提供新风和抽走排风,承担新风热湿负荷及房间的湿负荷,满足人员卫生及洁净室压差梯度控制要求。

循环风机组RAU:提供足够的换气次数,保证房间动态的洁净度要求,同时承担由生产设备及操作人员带来的热负荷,烟台厂房净化,同时可以至大程度避免不同房间和不同品种之间的交叉污染。









微环境的送风是由无尘车间送风系统提供,其缺点是不灵活,移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式(光刻机除外),微环境全部由工艺设备自带,与工艺设备紧密结合在一起,并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods.FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead  hoist transport,OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气,经ULP过滤器处理后垂直下吹,以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。

 

     隔膜阀以隔膜将介质与阀门的其他组件隔离,并使其通道严密、简单、流畅、不易受污染,清洁通道、更换隔膜都比较方便,因此常为制水工程采用。

管道的连接和试压接头: 不锈钢管道应采用热熔式氩弧焊焊接,内壁要光滑,应检查焊接质量,记录焊接的数量,并做X光拍片。由于管道在技术夹层难以拍片、采取先拍片的形式,一般采用自动氩弧热熔式焊机,根据设备手册先确定焊接控制参数,如电流大小,频率等,厂房净化车间,然后再用此焊接参数焊几个接头,在安装前先拍片(如无条件的可送外拍片),如符合要求,以后在安装时可控制在这焊接参数内,gmp厂房净化,可保证焊缝光滑,焊接结束后再用去离子水试压,试验压力为工作压力的1.5倍,无渗漏为合格。

管道的清洗、钝化、消毒、不锈钢管道的处理(清洗、钝化、消毒)可大致分为纯化水循环预冲洗→碱液循环清洗→纯化水清洗→钝化→纯化水再次冲洗→排放→纯蒸汽消毒等几个步骤。

 

 


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