典型的工艺排风系统包括：酸、溶剂和VOC、毒性物质、热和一般的房间排风。如果废气中有氨气出现，一些厂家会选择使用分开的风管系统和处理系统。使用多、普遍的酸消除方法，是水平或垂直气体洗涤塔。溶剂和VOC的去除通常运用就地或当场高温破坏的方法。需要认真选择支队的方式及必须支队的废气流量。
优质的空气处理设备能够将废气量降至至低，因此，在实施过程中可降低工程费用和能源浪费。保持排风量增加的潜在需求、扩大生产和安装这些备用品所需的经济价值之间的平衡是十分重要的。通常情况下，考虑到洁净室将来的扩展，洁净室等级，当其它动力设备和暖通、动力专业系统(例如新风和冷却)不能满足这种扩充的需求时，超大的昂贵的、不锈钢衬里的或FRP排风系统就已经建立了。没有考虑将来的需求而建立的酸排队系统也是十分普遍的。增加风量和新的风管支管，就会使风管系统中的风速超过每分钟4000英尺。这样的系统保持平衡是十分困难的或不可能的，日照洁净室，并且运行的费用昂贵。
送风洁净度。在送风洁净度方面，万级洁净室，要想达到要求，关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。而净化系统末级过滤器一般采用过滤器或过滤器。因此，应从洁净度要求考虑，洁净室施工及验收规范，以低级别洁净室选用低性能过滤器、洁净室选用高性能过滤器为原则。
不过，要选择好过滤器还要考虑洁净室的特性、过滤器特性和净化系统特性。要保证送风洁净度，仅有合格的过滤器是不够的，还要保证运输、安装过程中不损坏过滤器，确保安装严密。
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