多重循环风空调箱通过送风管，再经过ULPA过滤器或HEPA过滤器，将空气送入洁净室，在洁净度等级为10级和1级的洁净间的吊顶上，这些过滤器通常是100%覆盖。垂直单向气流向下通过洁净间，穿过带孔的架空地板砖进入地板下面的回风空间，再通过垂直回风夹道向上进入吊顶回风静压箱。然后 ，空气再次进入循环风空调箱，以上的空气循环再次重复。如果是使用吊顶风机过滤器，在风机过滤器上面的吊顶空间时，可以安装水或直接交换冷却[DX-cooled]风机盘管实现表面冷却。
温度和湿度的变化能够引起生产设备的误差，从而影响生产过程的可重复性，万级洁净室，终导致产品合格率降低、增加浪费。因此，滨州洁净室，洁净室对温度严格控制要求是显而易见的，100级洁净室要求，这项花费是必须的。
通常情况下，要求工程师在设计时降低施工费用，同时要求在很大区域内对温度进行确切的控制，允许的温度变化范围在±4到6华氏度之间(例如使用卷帘门的仓库)。在没有硬墙和气闸装置时，这将是十分苛刻的要求，并且实际上无法控制湿度的变化。人们通常认为洁净室外的洁净度、温度、湿度和气压等项目的层叠性是非常容易达到的，并且很容易维持，但需要仔细的评估这些项目的误差范围。
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