多重循环风空调箱通过送风管,再经过ULPA过滤器或HEPA过滤器,将空气送入洁净室,在洁净度等级为10级和1级的洁净间的吊顶上,这些过滤器通常是100%覆盖。垂直单向气流向下通过洁净间,穿过带孔的架空地板砖进入地板下面的回风空间,洁净室,再通过垂直回风夹道向上进入吊顶回风静压箱。然后 ,空气再次进入循环风空调箱,以上的空气循环再次重复。如果是使用吊顶风机过滤器,在风机过滤器上面的吊顶空间时,洁净室等级,可以安装水或直接交换冷却[DX-cooled]风机盘管实现表面冷却。
“静电”是由于两个独立的表面相互接触而产生的。不同表面产生的电荷,如果不能以足够快的速度传导到地面,ffu洁净室,那么它们会聚集并散布在材料的表面----这就是“静电”。
工业范围很多区域内残余的静电荷,临沂洁净室,会造成危险并引发问题。它能引起易燃气体的燃烧和人体触电。它能使薄的薄膜和轻纤维粘连、吸附空气中的尘埃和碎片、损害半导体设备和干扰微电子设备的运行。
关于易燃气体、水蒸汽和粉尘的危险与两方面的因素有关,其一是与电容储存能量相关,涉及到至小起爆能;另一方面是与至小间距的破坏电压相关,这可以引发着火。