设备的大小和重量影响振动的传播及控制。洁净室地板下面的“华夫(waffle)”混凝土板层,能够很好地避免将设备的振动传送到其他生产区域或度量衡工具上。即使为了安装管道而在洁净室的地面上钻洞,Waffle混凝土板层仍能保持其风性。因为地板的强度在于它的栅格系统,并可进行重新整理。
所有的暖通、动力专业设备应使用弹簧、软件接和隔离安装等隔绝振动的方式,将振动效应降到至低。低噪音的节能风机和马达,洁净室净化工程设计,可以用来维持洁净室NC水平。振动和噪声方面的专家应是评估小组的成员,他们用于振动和噪声方面的专家应是评估小组的成员,他们来核实用于振动和噪声控制中的机械和建筑学原理。完工后的再处理可能是十分昂贵的。如果建筑师、暖通、动力专业工程师、业主和顾问从设计的开始就考虑这些因素,青岛洁净室,可以免去许多潜在的昂贵的检测,或用更经济的办法取代。
洁净室增压是必须的,它的作用是确保洁净室远离其临近区域的污染,控制有害污染物的流向,防止不同区域间的交叉污染,并帮助保持所要求的温度和湿度水平。
洁净室与相关走廊、设施内的其他区域的压差应维持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之间。一般制药企业所要求的压差值比这更高,在不同区域之间采用层叠压差来避免交叉污染。在不同的区域间安装一系列的层叠式气闸和允许空气快速扩散的正压门,洁净室净化工程施工,从而产生压差。好的微电子洁净室设计中,通常在洁净室的入口安装一个半密封的气闸来使压差保持在0.02到0。005in.w.g.之间。更衣间和穿衣间用气闸分离。入口入的机械风淋相对于它的必要性而言,更是设施文化和洁净室的原则问题。