典型的工艺排风系统包括：酸、溶剂和VOC、毒性物质、热和一般的房间排风。如果废气中有氨气出现，一些厂家会选择使用分开的风管系统和处理系统。使用多、普遍的酸消除方法，是水平或垂直气体洗涤塔。溶剂和VOC的去除通常运用就地或当场高温破坏的方法。需要认真选择支队的方式及必须支队的废气流量。
优质的空气处理设备能够将废气量降至至低，洁净室等级，因此，在实施过程中可降低工程费用和能源浪费。保持排风量增加的潜在需求、扩大生产和安装这些备用品所需的经济价值之间的平衡是十分重要的。通常情况下，考虑到洁净室将来的扩展，当其它动力设备和暖通、动力专业系统(例如新风和冷却)不能满足这种扩充的需求时，超大的昂贵的、不锈钢衬里的或FRP排风系统就已经建立了。没有考虑将来的需求而建立的酸排队系统也是十分普遍的。增加风量和新的风管支管，就会使风管系统中的风速超过每分钟4000英尺。这样的系统保持平衡是十分困难的或不可能的，并且运行的费用昂贵。
在许多案例中，单向气流只在小空间和洁净室的敏感区域内使用，并且使用微环境。污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。多数设计为整体单向气流洁净室外的方案，洁净室施工及验收规范，只有在这些区域中没有作业者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。垂直或水平气流的选择，洁净室，取决于房间的结构和设备的安放位置，紊流就可以将污染物带走。
洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。后来，为了节约成本，在“bay-and-chase”式的洁净室结构中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。在完全单向气流的洁净室内，青岛洁净室，人们希望微粒从工作区域流到带小孔的地板下。我们已经成功的建立了10级和100级的洁净室，在这些洁净室内没有架空地板，采用墙下部回风系统，而且洁净室的气流被设计成紊流。
另个一种办法是用薄的空气喷射装置隔离超清洁区域，这种空气喷射的速度是每分钟500到800英尺。它的功能类似于塑料门帘。
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