洁净车间内部的平面设计因工艺规模的差异而各不相同， 但以整体而言， 洁净车间大体上包括生产洁净区、生产辅助区、辅助机房及管道管线等几部分。这几个区域即要严格区分以避免相互交叉污染，无尘车间， 又要保持相互间的便利联系。在考虑它们之间的平面关系时， 要以洁净区域为核心。而其它区域本质上都是生产洁净区的服务和保障系统。因此，光电无尘车间， 将洁净区布置在中心， 其它区域围绕这个中心布置是较为合理的做法。在确定具体的相互位置关系时， 应考虑各个区域的相应条件，济宁无尘车间， 根据不同的性质确定人员和物品出入口， 终是整体平面布局与各区域的具体布局协调统一。
二）疏散距离
洁净厂房的疏散距离应满足《建筑设计防火规范》GB50016的要求。洁净厂房内远工作地点或洁净区疏散口到外部出口或楼梯的距离应符合下表要求。
丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01％obs／m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于以上规定的安全疏散距离的1.5倍；对于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD厂房，ffu无尘车间，且洁净生产区人员密度小于0.02人／㎡，其疏散距离应按工艺需要确定，但不得大于120m。
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