精密电子净化工之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，无尘车间施工，而所给于特别设计之密闭空间。
精密电子净化工程亦名无尘室或清净室，目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之创新发展，100级无尘车间，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，专业无尘车间工程，如超大型积体电路之研究制造，无尘车间，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目
在洁净区内， 不同洁净等级区域之间、生产性质有较大差别的区域之间、需要避免发生交叉和干扰的区域之间、根据工艺要求需要相互隔离的区域之间、以及人净物净房间的出入口等部位， 必须设置缓冲设施， 缓冲设施主要有气闸、风淋室、缓冲间。缓冲设施要保证同一时间只能有一个门开启，其洁净等级应同于将要进入的区域。原则上应将缓冲设施的设置看作是避免交叉污染和保障洁净生产区环境的手段。
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