净化无尘车间采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板，使用越来越广泛了，那么怎样控制无尘车间的相对湿度呢？
在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的反向影响；较低的相对湿度（约30%）使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂.在较低的湿度下，湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快，因此，净化车间，比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。
净化无尘车间提醒:以后如果要更换净化无尘车间的高效过滤器时，须拆下喷球板，取出高效过滤器，按照原有高效过滤器的规格型号更换新的高效空气过滤器。安装时应确认高效过滤器上的箭头标记，10万级净化车间标准，箭头应指向气流的方向。并确保密封良好，防止渗漏。
推荐关于净化无尘车间的通风管道，可选用镀锌薄钢板制作，并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
无尘车间工程由三种构造形式组成，比如开放式、套间式和隧道式。
开方式常用于工艺过程对各无尘区要求的洁净度等等差别不大的，其特点是：灵活性好，便于调整和变更，净化车间，设计简单，空气处理系统单一。反之，高运行费用，对大面积的单向流，其回风通道所占面积/空间大，防火分隔受限止，安全性差。
套间式各洁净区按工艺的工序及洁净度要求进行分隔及连通，并进行各区间的压差控制，多用于制药工业及手术部，亦常把此归入开放式内。
隧道式是以“线”保护替代“面”保护的典型代表，它有二种基本形式，10 净化车间，一是把各有关工艺设备的关键加工部位，另一种形式是把各工艺设备的关键加工部位置于非单向流洁净隧道的罩流层下，其它都同前。
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