３ 结论
综上所述，笔者认为，对水质有较高要求的电子洁净厂房的工艺冷却水，管道应Sch-10S级不锈钢管及Sch80-PVC管。
类似6英寸半导体前工序及TFT-LCD厂房的水质，可使用Clean-PVC与洁净PP管道，工程车间净化工程多少钱，但洁净PP在连接方式及施工质量上有明显的优势，故而，工程车间净化工程价格，洁净PP管可以代替Clean-PVC在纯水系统管道中得到更广泛的应用。
类似8英寸及12英寸半导体厂房的水质，工程车间净化工程报价，需采用PVDF管道作为。由6英寸升级到8英寸半导体水质的管道系统，可采用已运行多年的Clean-PVC管路系统而不必更换成PVDF管路系统。
工艺冷却水管道主要有不锈钢管道及塑料管道两种。
（1）不锈钢管道
根据工艺冷却水的水质要求，SS304不锈钢管即可满足要求，但是半导体、TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透（RO）出水作为工艺冷却水的补充水源，而RO出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的pH值呈中性或弱碱性时，可采用SS304不锈钢，当水的pH值呈酸时（RO出水在不加碱的情况下通常呈酸性），需采用抗酸性好的SS304L不锈钢。
以某电子厂为例，一期厂房纯水系统未设置专门的除TOC紫外线灯，仅依靠制备过程中对TOC的去除，在运行了若干年后，秦皇岛工程车间净化工程，其回水管道TOC可以达到15ppm，而二期新建的纯水系统，设置了专用的除TOC紫外线灯，在系统开始运行阶段的站房出口TOC，也只有50 ppm。正是由于这种特性，所以纯水系统在投产前需经过相当长时间的冲洗运行。
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